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中科飛測首臺晶圓平坦度測量設備出貨HBM客戶端

每日經(jīng)濟新聞 2025-11-22 10:41:46

每經(jīng)AI快訊,11月22日,據(jù)中科飛測官微消息,近日,中科飛測首臺晶圓平坦度測量設備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客戶端。GINKGOIFM-P300的成功推出,標志著我國在該領域實現(xiàn)了重大突破,打破了國外廠商的長期壟斷,突破國內設備對超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的量測限制,同時支持鍵合后晶圓、化合物半導體襯底(SiC/GaAs)的全參數(shù)檢測。

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